11 月 18 日消息，据国外媒体报道，作为当前全球唯一能向芯片制造商供应极紫外光刻机的厂商，阿斯麦已推出了 TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 等多个型号的极紫外光刻机，在源源不断的向台积电、三星电子等客户交付。
阿斯麦 CEO 透露高数值孔径极紫外光刻机单价 3 亿-3.5 亿欧元
而除了 TWINSCAN NXE 系列的极紫外光刻机，阿斯麦也在研发高数值孔径极紫外光刻机，以应对 2nm 及以下更先进的制程工艺。
对于高数值孔径极紫外光刻机，阿斯麦的 CEO 兼总裁彼得・维尼克本周在韩国首尔的一场新闻发布会上透露，将在 2024 年开始出货，每台的价格在 3 亿到 3.5 亿欧元（约 25.86 亿元人民币）。
就彼得・维尼克透露的价格而言，高数值孔径极紫外光刻机的售价，要远高于他们目前在交付的 TWINSCAN NXE 系列极紫外光刻机。
阿斯麦的财报显示，他们在今年二季度和三季度完成交付的极紫外光刻机均是 12 台，就他们给出的营收及占比来计算，二季度平均每台的价格约 1.66 亿欧元，三季度的平均价格约为 1.81 亿欧元，均在 2 亿欧元以下。
从阿斯麦官网所公布的消息来看，他们的高数值孔径极紫外光刻机，将命名为 EXE 系列，数值孔径将由 0.33 增至 0.55，已有 TWINSCAN EXE:5000 和 TWINSCAN EXE:5200 两个型号，前者在 2018 年就已开始获得客户的订单，后者从去年四季度也开始获得订单。
来源：Techweb
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